تعداد نشریات | 162 |
تعداد شمارهها | 6,624 |
تعداد مقالات | 71,549 |
تعداد مشاهده مقاله | 126,922,207 |
تعداد دریافت فایل اصل مقاله | 99,969,344 |
ریز ماشینکاری PET با استفاده از لایه برداری شیمیایی در حضور | ||
نشریه دانشکده فنی | ||
مقاله 4، دوره 41، شماره 7 - شماره پیاپی 1827، آذر 1386 اصل مقاله (1.84 M) | ||
نویسندگان | ||
نیما ایزدی؛ امیر سماک؛ شمس الدین مهاجرزاده* | ||
چکیده | ||
در این مقاله لایه برداری از زیرلایه پلی-اتیلن-ترفتالایت بصورت عمودی و در نواحی تعریف شده توسط حلال های خاص و در حضور اشعه ماوراء بنفش گزارش میشود. با توجه به عدم حل شدن این ماده بدون حضور UV امکان لایه برداری بصورت کاملا عمودی و بدون پدیده زیر- خوردگی عملی می باشد. ایجاد الگوهای پیچیده و بسیار کوچک توسط این تکنیک نوین عملی می باشد. نرخ لایه برداری بین 1 الی 8 میکرومتر بر دقیقه می باشد که بشدت به میزان اشعه ماوراء بنفش بستگی دارد. ساخت انواع ساختارهای مناسب برای تکنولوژی ریز ماشینکاری گزارش میگردد. چرخدنده های میکرومتری و ساختارهای اینتر-دیجیت که در ساخت شتاب سنج ها کاربرد دارند گزارش می گردد. با ترکیب این تکنیک با لایه نشانی الکتروپلیتینگ می توان به ساخت موتورها و شیرها- محرکه ها و حتی قطعات مورد استفاده در اپتیک دست یافت. | ||
کلیدواژهها | ||
الگودهی؛ حلال شیمیایی؛ لایه برداری عمودی؛ ماورا بنفش | ||
آمار تعداد مشاهده مقاله: 1,643 تعداد دریافت فایل اصل مقاله: 918 |